化学技術者のための超LSI技術入門
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書誌事項
化学技術者のための超LSI技術入門
培風館, 1989.4
- タイトル別名
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超LSI技術入門 : 化学技術者のための
- タイトル読み
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カガク ギジュツシャ ノ タメノ チョウ LSI ギジュツ ニュウモン
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化学技術者のための超LSI技術入門
1989
限定公開 -
化学技術者のための超LSI技術入門
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注記
編者変更:化学工学協会→化学工学会
執筆者:仲勇治ほか
章末:引用文献
内容説明・目次
内容説明
本書は、今日の代表的な最先端技術である超ＬＳＩ技術を、化学技術者の目で見、理解してまとめられたものである。すなわち超ＬＳＩのしくみ、市場問題や今までの発展過程を述べたあと、超ＬＳＩ製造プロセスとそれを支える要素技術・パッケージング技術・評価技術を紹介し、解決が望まれている問題点を明らかにしている。
目次
- １ 超ＬＳＩの開く世界
- ２ 半導体マーケット
- ３ 半導体技術の歩みと展望
- ４ 超ＬＳＩのしくみ
- ５ 超ＬＳＩ製造プロセス
- ６ 周辺技術
- ７ 今後の技術的諸課題
- ８ ケミカルエンジニアリングからのアプローチ
「BOOKデータベース」 より