合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究

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合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究

畑朋延[研究代表]

金沢大学工学部, 1989.3

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ゴウキン ソセイヒ オ ニンイ ニ セイギョ デキル テイオン コウソク スパッタ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ

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Note

昭和63年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

[研究課題番号]:61850050

Details

  • NCID
    BN03411073
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [金沢]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    26cm
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