合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究
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合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究
金沢大学工学部, 1989.3
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ゴウキン ソセイヒ オ ニンイ ニ セイギョ デキル テイオン コウソク スパッタ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
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昭和63年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書
[研究課題番号]:61850050