合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究

著者

• 畑, 朋延 ハタ, トモノブ

書誌事項

合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究

畑朋延[研究代表]

金沢大学工学部, 1989.3

タイトル読み

ゴウキン ソセイヒ オ ニンイ ニ セイギョ デキル テイオン コウソク スパッタ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ

注記

昭和63年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

[研究課題番号]:61850050

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03411073
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [金沢]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm