イオン注入技術

著者

• 難波, 進 ナンバ, ススム

書誌事項

イオン注入技術

難波進編著

（エレクトロニクス技術全書, 8）

工業調査会, 1975.2

タイトル読み

イオン チュウニュウ ギジュツ

注記

参考文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03431514
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 5, 194p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC7 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN00579494