超微細加工入門
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超微細加工入門
オーム社, 1989.6
- タイトル読み
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チョウビサイ カコウ ニュウモン
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超微細加工入門
1989
限定公開 -
超微細加工入門
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内容説明・目次
内容説明
本書は、今日のＩＣの基本技術となっている、この微細加工技術を原理から説き起こし、わかりやすく解説したものである。しかも、所々にＱ＆Ａをはさみ、その理解を助けるような工夫をこらしている。さらに、現在の技術だけではなく、将来実用になりそうな技術およびこの加工法が単にＩＣ製作にとどまるものではないことのイメージを与える説明を加えてある。
目次
- １章 固体デバイスと微細加工
- ２章 露光
- ３章 エッチング
- ４章 ドーピング
- ５章 膜の形成
- ６章 微細素子作製技術
- ７章 検査・評価技術およびクリーンルーム
- ８章 Ｓｉ微細加工技術の新しい応用
「BOOKデータベース」 より