超LSI製造・試験装置ガイドブック
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書誌事項
超LSI製造・試験装置ガイドブック
（電子材料別冊）
工業調査会, 1981.11-2009.11
- 1982年版
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- タイトル読み
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チョウ LSI セイゾウ シケン ソウチ ガイドブック
大学図書館所蔵 件 / 全23件
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1985年版549.7/C53/19858320902573,
1986年版549.7/C53/19868320902565, 1988年版549.7/C53/19888320902540, 1989年版549.7/C53/19898320902532, 1990年版549.7/C53/19908320902524, 1994年版549.7/C53/19948320902490, 1995年版549.7/C53/19958320902631, 1996年版549.7/C53/19968320902623, 1997年版549.7/C53/19978320902615, 1998年版549.7/C53/19988320902680 -
天津図書館日文新書
1983年版Y/TN47-62/タ1/1-83091222,
1984年版Y/TN47-62/タ1/1-84091798, 1985年版Y/TN47-62/タ1/1-85092255, 1986年版Y/TN47-62/タ1/1-86093078 OPAC
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1983年版549.82||C53||(83)JA022970,
1984年版549.82||C53||(84)JA022971, 1985年版549.82||C53||(85)JA022972, 2007年版549.82||C53||(007)J0602115, 2008年版549.82||C53||(008)J0701966 -
1989年版549.7||C 53||'8989-0360,
1990年版549.7||C 53||'9090-0109, 1992年版549.7||C 53||'9292-0910 OPAC
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1982年版549.2||C 53||'8281-2902,
1989年版549.2||C 53||'8988-3519, 1990年版549.2||C 53||'9090-0107, 1992年版549.2||C 53||'9291-3846 OPAC
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2001年版549.7||*||*S04287,
2002年版549.7||*||*S04288, 2003年版549.7||*||*S04289, 2004年版549.7||*||*S04290, 2005年版549.7||*||*S04291, 2006年版549.7||*||*S04292, 2007年版549.7||*||*S04293 OPAC
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2005年版549.7/C53/200510502020999490,
2006年版549.7/C53/200610502021066641, 2007年版549.7/C53/200710502021111973, 2008年版549.7/C53/200810502021159755, 2009年版549.7/C53/200910502021227050, 2010年版549.7/C53/201010502021288369 -
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注記
付録(巻末): 半導体製造・試験装置メーカー・商社一覧表(2001年版-2005年版)