アモルファス薄膜の評価

Author(s)

• 井村, 健 イムラ, タケシ
• 日本表面科学会 ニホン ヒョウメン カガクカイ

Bibliographic Information

アモルファス薄膜の評価

井村健著

（表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編, 8）

共立出版, 1989.9

Title Transcription

アモルファス ハクマク ノ ヒョウカ

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• アモルファス薄膜の評価

  1989

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

参考文献: p[114]-121

Description and Table of Contents

Description

アモルファス薄膜は金属、半導体、絶縁物、さらには高分子、有機物を問わず、あらゆるタイプの材料で多様な物理的、化学的性質を示し、種々の分野で、結晶性薄膜とは一味違った応用の可能性に富む。本書では主にアモルファスシリコン薄膜を対象として著者が体験した組成と化学結合状態の評価法、構造の評価法について実例を挙げながら入門的に述べている。

Table of Contents

• 構造と化学結合状態
• ラザフォード後方散乱法—組成の評価
• 水素の定量
• スパッタで作成したａ‐Ｓｉ合金
• スパッタによる微結晶シリコン膜の構造と物性

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Details

• NCID: BN04061024
• ISBN:
  • 4320085086
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: v, 124p
• Size: 19cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC8 : 431.86
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜
• Parent Bibliography ID:
  • BN02433784