アモルファス薄膜の評価

著者

• 井村, 健 イムラ, タケシ
• 日本表面科学会 ニホン ヒョウメン カガクカイ

書誌事項

アモルファス薄膜の評価

井村健著

（表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編, 8）

共立出版, 1989.9

タイトル読み

アモルファス ハクマク ノ ヒョウカ

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• アモルファス薄膜の評価

  1989

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

参考文献: p[114]-121

内容説明・目次

内容説明

アモルファス薄膜は金属、半導体、絶縁物、さらには高分子、有機物を問わず、あらゆるタイプの材料で多様な物理的、化学的性質を示し、種々の分野で、結晶性薄膜とは一味違った応用の可能性に富む。本書では主にアモルファスシリコン薄膜を対象として著者が体験した組成と化学結合状態の評価法、構造の評価法について実例を挙げながら入門的に述べている。

目次

• 構造と化学結合状態
• ラザフォード後方散乱法—組成の評価
• 水素の定量
• スパッタで作成したａ‐Ｓｉ合金
• スパッタによる微結晶シリコン膜の構造と物性

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN04061024
• ISBN:
  • 4320085086
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: v, 124p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC8 : 431.86
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BN02433784