超微細加工とレジスト材料

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Bibliographic Information

超微細加工とレジスト材料

（R&D, 74）

シーエムシー, 1985.12

Title Transcription

チョウビサイ カコウ ト レジスト ザイリョウ

Note

発売:ジスク

各章末:文献

Details

• NCID: BN0432575X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 255p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 電子光学
• Parent Bibliography ID:
  • BN00908869