超微細加工とレジスト材料

著者

書誌事項

超微細加工とレジスト材料

（R&D, 74）

シーエムシー, 1985.12

タイトル読み

チョウビサイ カコウ ト レジスト ザイリョウ

注記

発売:ジスク

各章末:文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0432575X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 255p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 電子光学
• 親書誌ID:
  • BN00908869