真空技術ハンドブック
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真空技術ハンドブック
日刊工業新聞社, 1990.3
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シンクウ ギジュツ ハンドブック
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Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University未来材料研
534.93||Ka11247478
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Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第1章 真空の科学(真空の特徴;気体の考え方;気体分子運動論;気体分子運動論から導かれる諸関係)
- 第2章 真空システム(コンダクタンス;実効排気速度と到達圧力;排気系設計のポイント;超高真空システムの極高真空システム;真空部品;真空材料;極高真空装置用の材料とガス放出)
- 第3章 真空ポンプ(真空ポンプの現状と開発動向;油回転ポンプ;ルーツポンプ;ドライ真空ポンプ;油拡散ポンプ;ターボ分子ポンプ;クライオポンプ;スパッタイオンポンプ;チタンサブリメーションポンプ)
- 第4章 真空計測(全圧計・分圧計の種類と利用法;熱伝導真空計;電離真空計;スピニングローター真空計;隔膜真空計;全圧計の校正;極高真空全圧計とその校正;四極子マスフィルタ)
- 第5章 真空装置の管理(真空装置のトラブルとその対策;各種の真空装置における洩れ探し;ヘリウムリークデテクタとその使用技術;真空装置の汚染に関するトラブル)
- 第6章 真空を利用した薄膜製造装置(真空蒸着法;分子線エピタキシー;スパッタ法;イオンプレーティングとその応用技術;イオンビームによる薄膜形成;ドライエッチング技術;CVD法)
- 第7章 真空を利用した薄膜製造技術(薄膜製造における真空技術;酸化物超伝導体と薄膜化技術;薄膜センサ;セラミックス膜;ダイヤモンド薄膜)
- 第8章 真空利用装置と利用技術(電子顕微鏡における真空技術;表面分析技術における真空技術;真空断熱技術;スペースチャンバ;大型加速器における真空技術;最近の真空利用)
- 第9章 規格等
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