半導体工学 : 大学課程

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半導体工学 : 大学課程

山口次郎[ほか]共編

オーム社, 1990.3

第3版

Other Title

大学課程半導体工学

Title Transcription

ハンドウタイ コウガク : ダイガク カテイ

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Description and Table of Contents

Description

本書は、多くの大学の電気・電子系の教科書として活用されてきましたが、最近における半導体工学の進歩は急なものがあり、特に混晶半導体素子、ＬＳＩデバイスの開発とプロセス技術の多様な発展に即して今日的視点で全面的に見直した大学の教科書です。

Table of Contents

  • 第１章　電子物性
  • 第２章　半導体素子
  • 第３章　半導体素子の製造技術
  • 第４章　集積回路

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Details

  • NCID
    BN04567260
  • ISBN
    • 4274128717
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    iv,264p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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