半導体工学 : 大学課程
著者
書誌事項
半導体工学 : 大学課程
オーム社, 1990.3
第3版
- タイトル別名
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大学課程半導体工学
- タイトル読み
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ハンドウタイ コウガク : ダイガク カテイ
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内容説明・目次
内容説明
本書は、多くの大学の電気・電子系の教科書として活用されてきましたが、最近における半導体工学の進歩は急なものがあり、特に混晶半導体素子、LSIデバイスの開発とプロセス技術の多様な発展に即して今日的視点で全面的に見直した大学の教科書です。
目次
- 第1章 電子物性
- 第2章 半導体素子
- 第3章 半導体素子の製造技術
- 第4章 集積回路
「BOOKデータベース」 より