先端産業のための表面欠陥検査法

著者

• 河野, 嗣男 コウノ, ツグオ

書誌事項

先端産業のための表面欠陥検査法

河野嗣男編著

アイピーシー, 1989.12

タイトル別名

先端産業における表面欠陥検査法

タイトル読み

センタン サンギョウ ノ タメノ ヒョウメン ケッカン ケンサホウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN04893956
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 6, 281 p
• 大きさ: 27 cm