半導体工業用材料ガス安全ハンドブック

著者

• 安全工学協会 アンゼン コウガク キョウカイ

書誌事項

半導体工業用材料ガス安全ハンドブック

安全工学協会編

安全工学協会, 1990.4

タイトル読み

ハンドウタイ コウギョウヨウ ザイリョウ ガス ハンドブック

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN04963053
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 301 p
• 大きさ: 22 cm