薄膜成長の話
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薄膜成長の話
（エレクトロニクスと材料 / 犬塚直夫, 伊藤糾次編, 3）
早稲田大学出版部, 1990.6
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ハクマク セイチョウ ノ ハナシ
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付録 分析方法一覧:p[145]〜157
Description and Table of Contents
Description
エレクトロニクスにおける重要な材料の１つが薄膜である。厚さ０．００１ｍｍ以下の薄膜を加工し、さらに別の薄膜を成長させることにより、基本的にはＩＣもＬＳＩも超ＬＳＩも作ることができる。薄膜の成長方法と評価方法を新しい観点から分類した本書は、読者が薄膜成長の基本的な現象を理解し、さらに薄膜の新しい可能性を見いだすための手引となろう。
Table of Contents
- 第１章 薄膜研究の出発
- 第２章 薄膜の成長（気相から結晶を作る；薄膜の成長）
- 第３章 薄膜作製法の実際（薄膜の原料気体の準備；成長環境と下地表面）
- 第４章 薄膜を知る
- 第５章 薄膜を測る（薄膜は厚い？；薄膜は丈夫？；電気特性を測る）
- 第６章 薄膜を分析する（薄膜の結晶構造を測る；電子顕微鏡で観察する；電子線で表面の元素と構造を分析する；イオンで界面の構造を解明する；微量不純物を分析する）
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