短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工

著者

• 上野, 巧 ウエノ, タクミ
• 有機エレクトロニクス材料研究会 ユウキ エレクトロニクス ザイリョウ ケンキュウカイ

書誌事項

短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工

上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編

（有機エレクトロニクス材料シリーズ, 1）

ぶんしん出版, 1988.12

タイトル読み

タンハチョウ フォト レジスト ザイリョウ : ULSI ニ ムケタ ビサイ カコウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN05493589
• ISBN:
  • 4893900013
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 230p
• 大きさ: 18cm
• 親書誌ID:
  • BN04543670