短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工

Author(s)

• 上野, 巧 ウエノ, タクミ
• 有機エレクトロニクス材料研究会 ユウキ エレクトロニクス ザイリョウ ケンキュウカイ

Bibliographic Information

短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工

上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編

（有機エレクトロニクス材料シリーズ, 1）

ぶんしん出版, 1988.12

Title Transcription

タンハチョウ フォト レジスト ザイリョウ : ULSI ニ ムケタ ビサイ カコウ

• NCID: BN05493589
• ISBN:
  • 4893900013
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 230p
• Size: 18cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN04543670