薄膜のプロセッシング
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薄膜のプロセッシング
（エレクトロニクスと材料 / 犬塚直夫, 伊藤糾次編, 5）
早稲田大学出版部, 1990.9
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ハクマク ノ プロセッシング
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Description and Table of Contents
Description
エレクトロニクスにおける重要な材料の一つが薄膜である。ＬＳＩからＵＬＳＩにいたる薄膜の加工方法を分類し詳細に解説した本書は、読者が薄膜プロセスの基本と問題点を理解し、さらに新しい薄膜応用にチャレンジするための手引となろう。
Table of Contents
- ウェーハ表面のクリーニング
- 酸化膜と窒化膜の形成
- リソグラフィ
- 不純物ドーピングとメタライゼーション
- プロセスの問題点
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