マイクロプロセスハンドブック

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マイクロプロセスハンドブック

難波進編著

工業調査会, 1990.10

Other Title

マイクロプロセスブック

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マイクロ プロセス ハンド ブック

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Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　最近のエレクトロニクスとナノメータ加工
  • 第２章　マイクロプロセスの基礎過程
  • 第３章　露光技術
  • 第４章　レジスト技術
  • 第５章　膜形成技術
  • 第６章　ドライエッチング
  • 第７章　ドーピング技術
  • 第８章　評価・修復技術
  • 第９章　極限加工と量子デバイス

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Details

  • NCID
    BN05669652
  • ISBN
    • 4769310811
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    698p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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