図説超LSI工学
著者
書誌事項
図説超LSI工学
啓学出版, 1990.12
- タイトル別名
-
The atlas of IC technologies : an introduction to VLSI processes
図説超LSI工学
- タイトル読み
-
ズセツ チョウ LSI コウガク
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注記
参考文献:p326-327
内容説明・目次
内容説明
専門家向けの参考書、VLSI関連の講義用教材として著した本書は、ユニークなICの断面イラストで満たされ、読者をICの3次元世界の旅に誘うだろう。IC製造過程を1層ごとにイラストで表わしているので、システム志向の技術者もプロセス関連の基本的な事柄が理解できるようになる。ICのレイアウト、チップ製作初期段階、および後半の断面イラストとを見比べれば、読者はただちにIC製作プロセスの概略をつかむことができる。
目次
- 第1章 プロセス各論
- 第2章 プロセスと設計の関係
- 第3章 バイポーラ技術
- 第4章 NMOS技術
- 第5章 CMOS技術
- 第6章 先端バイポーラ技術
- 第7章 先端NMOS技術
- 第8章 先端CMOS技術
- 第9章 バイCMOS技術
- 第10章 SRAM技術
- 第11章 SOI技術
「BOOKデータベース」 より