機能性薄膜の形成技術の開発と応用

著者

• 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ

書誌事項

機能性薄膜の形成技術の開発と応用

安田幸夫[ほか]著

[出版者不明], 1990.3

タイトル別名

平成元年度科学研究費補助金(総合研究A)研究成果報告書

タイトル読み

キノウセイ ハクマク ノ ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ ト オウヨウ

注記

課題番号:63302021

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN05917492
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 346p
• 大きさ: 26cm