固相界面反応を伴うシリコンヘテロエピタキシャル成長機構の解明

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固相界面反応を伴うシリコンヘテロエピタキシャル成長機構の解明

安田幸夫[ほか著]

[出版者不明], 1990.3

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平成元年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

Title Transcription

コソウ カイメン ハンノウ オ トモナウ シリコン ヘテロ エピタキシャル セイチョウ キコウ ノ カイメイ

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Note

課題番号:63460055

Details

  • NCID
    BN05948361
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [名古屋]
  • Pages/Volumes
    43p
  • Size
    26cm
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