朝河貫一書簡集

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朝河貫一書簡集

朝河貫一書簡編集委員会編

早稲田大学出版部, 1991.2

Other Title

Letters Written by Dr. Kan'ich Asakawa

Title Transcription

アサカワ カンイチ ショカンシュウ

Available at  / 12 libraries

Note

朝河貫一著作目録:p43〜47

朝河貫一年譜 阿部善雄原編:p67~74

著者の肖像あり

Description and Table of Contents

Description

エレクトロニクスにおける重要な材料の１つが薄膜である。厚さ０．００１ｍｍ以下の薄膜を加工し、さらに別の薄膜を成長させることにより、基本的にはＩＣもＬＳＩも超ＬＳＩも作ることができる。薄膜の成長方法と評価方法を新しい観点から分類した本書は、読者が薄膜成長の基本的な現象を理解し、さらに薄膜の新しい可能性を見いだすための手引となろう。

Table of Contents

  • 第１章　薄膜研究の出発
  • 第２章　薄膜の成長（気相から結晶を作る；薄膜の成長）
  • 第３章　薄膜作製法の実際（薄膜の原料気体の準備；成長環境と下地表面）
  • 第４章　薄膜を知る
  • 第５章　薄膜を測る（薄膜は厚い？；薄膜は丈夫？；電気特性を測る）
  • 第６章　薄膜を分析する（薄膜の結晶構造を測る；電子顕微鏡で観察する；電子線で表面の元素と構造を分析する；イオンで界面の構造を解明する；微量不純物を分析する）

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