シリコン化合物表面の機能性膜の開発とその応用
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シリコン化合物表面の機能性膜の開発とその応用
〔中西守〕, 1989
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昭和63年度科学研究費補助金試験研究(1)研究成果報告書,研究課題番号(61880024)
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シリコン カゴウブツ ヒョウメン ノ キノウセイマク ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ
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