シリコン化合物表面の機能性膜の開発とその応用

著者

• 中西, 守 ナカニシ, マモル

書誌事項

シリコン化合物表面の機能性膜の開発とその応用

研究代表者中西守

〔中西守〕, 1989

タイトル別名

昭和63年度科学研究費補助金試験研究(1)研究成果報告書,研究課題番号(61880024)

タイトル読み

シリコン カゴウブツ ヒョウメン ノ キノウセイマク ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06260123
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 〔東京〕
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm