レーザラマン分光法による半導体イオン打込層の構造回復及び活性化機構の微視的解明

Author(s)

Bibliographic Information

レーザラマン分光法による半導体イオン打込層の構造回復及び活性化機構の微視的解明

研究代表者河東田隆

[河東田隆], 1986.3

Title Transcription

レーザラマン ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ イオン ウチコミソウ ノ コウゾウ カイフク オヨビ カッセイカ キコウ ノ ビシテキ カイメイ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

昭和60年度文部省科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書.研究課題番号(59460051)

Details

  • NCID
    BN06271888
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    43p
  • Size
    27cm
Page Top