レーザラマン分光法による半導体イオン打込層の構造回復及び活性化機構の微視的解明

著者

• 河東田, 隆 カトウダ, タカシ

書誌事項

レーザラマン分光法による半導体イオン打込層の構造回復及び活性化機構の微視的解明

研究代表者河東田隆

[河東田隆], 1986.3

タイトル読み

レーザラマン ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ イオン ウチコミソウ ノ コウゾウ カイフク オヨビ カッセイカ キコウ ノ ビシテキ カイメイ

注記

昭和60年度文部省科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書.研究課題番号(59460051)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06271888
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 43p
• 大きさ: 27cm