エレクトロニクスデバイスと薄膜
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エレクトロニクスデバイスと薄膜
(エレクトロニクスと材料 / 犬塚直夫, 伊藤糾次編, 2)
早稲田大学出版部, 1991.2
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エレクトロニクス デバイス ト ハクマク
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Description and Table of Contents
Description
エレクトロニクスにおける重要な材料の一つが薄膜である。薄膜の役目は超微細な接続を行うことであり、バルクには期待できない性能・特性を実現することである。本書は、エレクトロニクスデバイスにおける薄膜の働きを解説した。
Table of Contents
- 第1章 薄膜形成用材料
- 第2章 Si ICデバイス
- 第3章 GaAs ICデバイス
- 第4章 光デバイス
- 第5章 センサデバイス
- 第6章 表示デバイス
- 第7章 入力と記録・記憶デバイス
- 第8章 エレクトロニクス部品
- 第9章 将来のデバイス
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