超クリーン化技術 : PPtへの挑戦

著者

• 日経BP社 ニッケイ BPシャ

書誌事項

超クリーン化技術 : PPtへの挑戦

（別冊日経マイクロデバイス, NO.2）

日経BP社, 1988.11

タイトル読み

チョウ クリーンカ ギジュツ : PPt エノ チョウセン

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06312704
• ISBN:
  • 482221303X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 241p
• 大きさ: 28cm
• 分類:
  • NDC8 : 528.2
• 件名:
  • NDLSH : 空気 ーー 浄化
• 親書誌ID:
  • BN06312759