超クリーン化技術 : PPtへの挑戦

書誌事項

超クリーン化技術 : PPtへの挑戦

(別冊日経マイクロデバイス, NO.2)

日経BP社, 1988.11

タイトル読み

チョウ クリーンカ ギジュツ : PPt エノ チョウセン

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詳細情報
  • NII書誌ID(NCID)
    BN06312704
  • ISBN
    • 482221303X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    241p
  • 大きさ
    28cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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