超音波援用超高真空常温接合の研究

著者

• 須賀, 唯知 スガ, タダトモ

書誌事項

超音波援用超高真空常温接合の研究

研究代表者須賀唯知

須賀唯知, 1989

タイトル読み

チョウオンパ エンヨウ チョウコウ シンクウ ジョウオン セツゴウ ノ ケンキュウ

注記

昭和62・63年度文部省科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書,研究課題番号(62460189)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06340492
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 〔東京〕
• ページ数/冊数: 91p
• 大きさ: 27cm