超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発

著者

• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ

書誌事項

超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発

菅井秀郎[ほか著]

[出版者不明], 1991.3

タイトル別名

平成2年度科学研究費補助金(試験研究[B](2))研究成果報告書

タイトル読み

チョウビサイ プロセスヨウ テイエネルギー リュウシ ビームゲン ノ カイハツ

注記

研究課題番号:01880002

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06569584
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm