超高真空実験マニュアル
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超高真空実験マニュアル
日刊工業新聞社, 1991.8
- タイトル読み
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チョウコウ シンクウ ジッケン マニュアル
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注記
編集委員:荒川一郎ほか
執筆者:本間禎一ほか
各章末:文献
内容説明・目次
目次
- 第１章 工作技術と洗浄
- 第２章 材料
- 第３章 排気の実際
- 第４章 計測
- 第５章 超高真空用部品—駆動機構および電気部品
- 第６章 極高真空技術
- 第７章 超高真空の応用技術
「BOOKデータベース」 より