高純度シリコンの製造に関する研究

Author(s)

Bibliographic Information

高純度シリコンの製造に関する研究

研究代表者前田正史 ; 研究分担者佐野信雄

前田正史, 1988

Other Title

昭和62年度科学研究費補助金試験研究(2)研究成果報告書,研究課題番号(61850121)

Title Transcription

コウジュンド シリコン ノ セイゾウ ニ カンスル ケンキュウ

Available at  / 2 libraries

Search this Book/Journal

Details

  • NCID
    BN06671831
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    〔東京〕
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    26cm
Page Top