SOI結晶の高品質化に関する新技術の開発

著者

• 西永, 頌 ニシナガ, タタウ

書誌事項

SOI結晶の高品質化に関する新技術の開発

研究代表者西永頌

西永頌, 1990

タイトル読み

SOI ケッショウ ノ コウヒンシツカ ニ カンスル シン ギジュツ ノ カイハツ

注記

平成元年度科学研究費補助金(試験研究1)研究成果報告書(課題番号62850052)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0672169X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 〔東京〕
• ページ数/冊数: 46p
• 大きさ: 27cm