極高真空発生技術の開発

著者

• 本間, 禎一 ホンマ, テイイチ

書誌事項

極高真空発生技術の開発

研究代表者本間禎一

本間禎一, 1990

タイトル読み

キョッコウ シンクウ ハッセイ ギジュツ ノ カイハツ

注記

平成元年度科学研究費補助金試験研究(1)研究成果報告書,研究課題番号(63850151)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06723345
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 〔東京〕
• ページ数/冊数: v,89p
• 大きさ: 26cm