半導体製造装置用語辞典
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半導体製造装置用語辞典
日刊工業新聞社, 1991.9
第2版
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ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
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NDC8:549.03||4(1)||10009959949
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Description and Table of Contents
Description
旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数2200語を掲載。より使いやすい実務辞典。
Table of Contents
- 第1章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
- 第2章 設計工程用語
- 第3章 マスク製作工程用語
- 第4章 ウェーハ製造工程用語
- 第5章 ウェーハ処理工程用語
- 第6章 組立工程用語
- 第7章 検査工程用語
- 第8章 設備・環境工程用語
- 資料
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