イオンビームによる薄膜設計

著者

• 山田, 公 ヤマダ, イサオ

書誌事項

イオンビームによる薄膜設計

山田公著

（表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編, 15）

共立出版, 1991.9

タイトル読み

イオン ビーム ニヨル ハクマク セッケイ

注記

文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• 第１章　薄膜の形成
• 第２章　イオンビームの作用
• 第３章　種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法
• 第４章　プラズマ中での薄膜形成法
• 第５章　真空中での薄膜形成法

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06866284
• ISBN:
  • 4320085159
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: v, 114p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : イオンビーム
  • BSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BN02433784