イオンビームによる薄膜設計

Author(s)

• 山田, 公 ヤマダ, イサオ

Bibliographic Information

イオンビームによる薄膜設計

山田公著

（表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編, 15）

共立出版, 1991.9

Title Transcription

イオン ビーム ニヨル ハクマク セッケイ

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• イオンビームによる薄膜設計

  1991

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　薄膜の形成
• 第２章　イオンビームの作用
• 第３章　種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法
• 第４章　プラズマ中での薄膜形成法
• 第５章　真空中での薄膜形成法

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Details

• NCID: BN06866284
• ISBN:
  • 4320085159
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: v, 114p
• Size: 19cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : イオンビーム
  • BSH : 薄膜
• Parent Bibliography ID:
  • BN02433784