「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録

著者

• 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ

書誌事項

「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 1991.11

タイトル読み

ハンドウタイ リッコク ニホン : ドクソウテキ ナ ソウチ ガ キズキアゲタ キロク

注記

監修: 垂井康夫

内容説明・目次

内容説明

半導体・日本がいかにして成立したか、そのルーツと発展の経緯、苦闘の歩みを明らかにする。

目次

• 第１章　半導体産業、夜明けの時代
• 第２章　ＩＣ、ＬＳＩの時代
• 第３章　超ＬＳＩの時代
• 第４章　光学王国・日本の真価　露光装置
• 第５章　自動化の推進役　エッチング・レジスト処理・洗浄装置
• 第６章　前工程の代表装置　酸化・ドーピング装置
• 第７章　超ＬＳＩ化で重要度増す　膜形成装置
• 第８章　半導体日本の立役者　組立用装置
• 第９章　一気に世界のトップへ　検査用装置
• 第１０章　１ギガビット以降を展望する

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN07021660
• ISBN:
  • 4526030422
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xii, 403p
• 大きさ: 20cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
  • NDLSH : 半導体