クリーンルームにおける化学安全ハンドブック
著者
書誌事項
クリーンルームにおける化学安全ハンドブック
テクネット , 丸善(発売), 1991.11
- タイトル別名
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Chemical safety in clean rooms
- タイトル読み
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クリーン ルーム ニ オケル カガク アンゼン ハンドブック
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各章末: 参考文献
内容説明・目次
内容説明
本書は昨年作成した「クリーンルームにおける化学物質取扱い安全指針」の内容を記述した解説書であり、その内容は、半導体基板製造工程に始まり、各工程に用いられ又工程から発生する化学物質についてその特性と危険性，生体影響及び化学物質の自動連続測定法、衛生管理・防災管理、気相・液相における化学物質除去装置等に及んだ。
目次
- １ 総論（はじめに—ケミカルハザード対策の必要性；半導体製造プロセスの概要）
- ２ 化学物質の危険性（クリーンルームにおける化学物質の危険性；物理的、化学的危険性）
- ３ クリーンルームにおける物理的危険性
- ４ 分析測定法（手分析法；検知管および検知紙；自動連続測定機器）
- ５ 対策技術（建築設備；安全管理と防災管理；排ガス処理；排水処理）
- ６ 関連法規
「BOOKデータベース」 より
