強誘電体薄膜集積化技術

著者

• 阿部, 浩之 アベ, ヒロユキ
• 崎山, 恵三 サキヤマ, ケイゾウ

書誌事項

強誘電体薄膜集積化技術

阿部浩之, 崎山恵三編集

（New trigger series）

サイエンスフォーラム, 1992.2

タイトル読み

キョウ ユウデンタイ ハクマク シュウセキカ ギジュツ

注記

各章末:文献

監修:塩嵜忠

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN07247608
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 274p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BN07247765