最新プロセスと自動化

著者

• 田丸, 啓吉 タマル, ケイキチ

書誌事項

最新プロセスと自動化

田丸啓吉ほか[編集]

（超LSI工場最新技術集成, 2）

リアライズ社, 1986.9

タイトル読み

サイシン プロセス ト ジドウカ

注記

監修:田丸啓吉ほか

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN07585258
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 344p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : オートメーション
• 親書誌ID:
  • BN07585098