最新プロセスと自動化

Author(s)

• 田丸, 啓吉 タマル, ケイキチ

Bibliographic Information

最新プロセスと自動化

田丸啓吉ほか[編集]

（超LSI工場最新技術集成, 2）

リアライズ社, 1986.9

Title Transcription

サイシン プロセス ト ジドウカ

Note

監修:田丸啓吉ほか

Details

• NCID: BN07585258
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 344p
• Size: 31cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : オートメーション
• Parent Bibliography ID:
  • BN07585098