スピンコーティングにおける薄液膜形成過程

著者

• 松本, 洋一郎 マツモト, ヨウイチロウ

書誌事項

スピンコーティングにおける薄液膜形成過程

研究代表者松本洋一郎

松本洋一郎, 1991

タイトル読み

スピンコーティング ニ オケル ハクエキマク ケイセイ カテイ

注記

平成2年度文部省科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書(研究課題番号01460110)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN07687564
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 65p
• 大きさ: 26cm