トンネル電流距離センサを集積化したシリコンマイクロストラクチャによる微小駆動装置
Author(s)
Bibliographic Information
トンネル電流距離センサを集積化したシリコンマイクロストラクチャによる微小駆動装置
藤田博之, 1991
- Title Transcription
-
トンネル デンリュウ キョリ センサ オ シュウセキカ シタ シリコン マイクロ ストラクチャ ニ ヨル ビショウ クドウ ソウチ
Available at / 2 libraries
-
Institute of Industrial Science Library, the University of Tokyo図書
X-08.IIS:科研1990:11-2316711257680
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
平成2年度文部省科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書,研究課題番号(63850053)