集束イオンビームを用いた超格子ソース縦型電界効果トランジスタの試作
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集束イオンビームを用いた超格子ソース縦型電界効果トランジスタの試作
生駒俊明, 1991
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シュウソク イオン ビーム オ モチイタ チョウコウシ ソース タテガタ デンカイ コウカ トランジスタ ノ シサク
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Institute of Industrial Science Library, the University of Tokyo図書
X-08.IIS:科研1990:08-2286711257656
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平成3年度文部省科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(研究課題番号01850079)