集束イオンビームを用いた超格子ソース縦型電界効果トランジスタの試作

著者

• 生駒, 俊明 イコマ, トシアキ

書誌事項

集束イオンビームを用いた超格子ソース縦型電界効果トランジスタの試作

研究代表者生駒俊明

生駒俊明, 1991

タイトル読み

シュウソク イオン ビーム オ モチイタ チョウコウシ ソース タテガタ デンカイ コウカ トランジスタ ノ シサク

注記

平成3年度文部省科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(研究課題番号01850079)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0773895X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: vii,71p
• 大きさ: 26cm