プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用

著者

• 森田, 慎三 モリタ, シンゾウ

書誌事項

プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用

森田慎三[ほか著]

[出版者不明], 1992.3

タイトル別名

平成3年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

プラズマ ジュウゴウ レジスト オ モチイタ マイクロ メカニカル デバイス リッタイ カコウホウ ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ

注記

課題番号:01460101

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN07885976
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 18p
• 大きさ: 26cm