超精密洗浄技術 : 実態と課題

著者

• シーエムシー シー エム シー

書誌事項

超精密洗浄技術 : 実態と課題

（テクニカルリサーチレポート, no.7）

シーエムシー, 1992.3

タイトル別名

Ultra precision cleaning technologies

タイトル読み

チョウセイミツ センジョウ ギジュツ : ジッタイ ト カダイ

注記

監修:角田光雄

発売:ジスク

各章末:文献

• NII書誌ID(NCID): BN07970929
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 269p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 576.5
  • NDLC : PA551
• 件名:
  • NDLSH : 洗浄剤
• 親書誌ID:
  • BN07836551