超精密洗浄技術 : 実態と課題

Author(s)

• シーエムシー シー エム シー

Bibliographic Information

超精密洗浄技術 : 実態と課題

（テクニカルリサーチレポート, no.7）

シーエムシー, 1992.3

Other Title

Ultra precision cleaning technologies

Title Transcription

チョウセイミツ センジョウ ギジュツ : ジッタイ ト カダイ

Note

監修:角田光雄

発売:ジスク

各章末:文献

Details

• NCID: BN07970929
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 269p
• Size: 31cm
• Classification:
  • NDC8 : 576.5
  • NDLC : PA551
• Subject Headings:
  • NDLSH : 洗浄剤
• Parent Bibliography ID:
  • BN07836551