真空ハンドブック

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Bibliographic Information

真空ハンドブック

日本真空技術株式会社編

オーム社, 1992.11

Title Transcription

シンクウ ハンドブック

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Note

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　真空の基礎
  • 第２章　真空用部品
  • 第３章　真空用構成材料
  • 第４章　熱
  • 第５章　低温
  • 第６章　プラズマ・イオンビーム
  • 第７章　表面分析
  • 第８章　薄膜・標面加工
  • 第９章　化学・薬品・食品工業への真空の応用
  • 第１０章　その他の資料

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Details

  • NCID
    BN08379841
  • ISBN
    • 4274086372
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    16, 385p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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