書誌事項

真空ハンドブック

日本真空技術株式会社編

オーム社, 1992.11

タイトル読み

シンクウ ハンドブック

注記

文献: 各章末

内容説明・目次

目次

  • 第1章 真空の基礎
  • 第2章 真空用部品
  • 第3章 真空用構成材料
  • 第4章 熱
  • 第5章 低温
  • 第6章 プラズマ・イオンビーム
  • 第7章 表面分析
  • 第8章 薄膜・標面加工
  • 第9章 化学・薬品・食品工業への真空の応用
  • 第10章 その他の資料

「BOOKデータベース」 より

詳細情報
  • NII書誌ID(NCID)
    BN08379841
  • ISBN
    • 4274086372
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    16, 385p
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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